"초"고진공
최근 기술의 진보에 의해 베어링이 사용되는 환경이나 조건은 가혹하고 다양해지고 있습니다.그 중에서도 가장 어려운 진공 기술을 소개하겠습니다.
문제점
태양광 패널·반도체 제조 장치나 우주 공간에서 사용되는 장치 등은 진공 상태에서 작동해야 하지만 일반 베어링은 이러한 환경에서의 사용에 적합하지 않습니다. 진공 환경에서는 열전도가 거의 없어 한계온도를 넘어서고 윤활제인 그리스가 증발·확산해 버리기 때문입니다.
초기술로 해결
진공 중에서도 증발 · 확산되기 어려운 전용 그리스를 사용하고, 은·납과 같은 연질 금속을 전주면에 이온 플레이트 처리해, 이황화 몰리브덴을 스퍼터링으로 표면 처리한 베어링을 실현했습니다.
이로써 베어링은 10 -10 Pa의 초고진공에서 문제 없이 회전할 수 있게 되었습니다.
초 기술의 제품
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진공용 그리스 봉입 베어링
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Ag 이온 플레이팅 베어링
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Pb 이온 플레이팅 베어링
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Mos2 스퍼터링 베어링